真空關鍵零組件
旋轉圓柱陰極
- 靶材長度：300~2000 mm
- 背管直徑：OD 133 mm
- 背管厚度：4 mm
- 靶材厚度：6~12 mm
- 靶材利用率：陶瓷靶 >70% ；金屬靶 >80%
- 均勻性：±5%
- 靶材迴轉速：3~15rpm
- 可靠度運轉測試：500萬~1000萬次
單臂型旋轉圓柱陰極
- 靶材長度：300~3000 mm
- 背管直徑：OD 170mm
- 背管厚度：9 mm
- 靶材厚度：6~12 mm
- 靶材利用率：陶瓷靶 >70% ；金屬靶 >80%
- 均勻性：±5%
- 靶材迴轉速：3~15rpm
- 可靠度運轉測試：500萬~1000萬次
DC平面陰極
- 額定功率：≦ DC100 KW
- 電壓電流：≦ 1000V/225A
- 靶材長度 ≦ 2000mm
- 漏率：<1*10-9 bar*l/s
- 靶材利用率：≦ 40%
- 均勻性：±3%
MF平面陰極
- 額定功率：≦ AC80 KHz
- 電壓電流：≦ 1000V/225A
- 靶材長度 ≦ 2000mm
- 漏率：< 1*10-9 bar*l/s
- 靶材利用率：≦ 30%
- 均勻性：±3%
掃描式磁控陰極
- 額定功率：≦ DC100 KW
- 電壓電流：≦ 1000V/225A
- 靶材長度 ≦ 2000mm
- 漏率：<1*10-8 bar*l/s
- 靶材利用率：≦ 40%
- 均勻性：±3%
離子源
- 漏率：<1.2*10-9 bar*l/s
- 使用溫度：200度C以內
- 製程氣體： Ar、O2、Ar+O2
- 最大操作壓力：~2 mtorr
- 氣體流量：20– 200 sccm
- 均勻磁場設計
紅外線加熱器
紅外線加熱器
紅外線加熱器
- 可紅外線加熱溫度高達1200度C
- 溫度控制精確5度C以內
阻絲加熱器
紅外線加熱器
紅外線加熱器
- 多盤式獨立控制，確保全區均溫性
- 可紅外線加熱溫度高達800度C
- 即時反饋PID控制精確度 ± 1.5度C
水平式閥門
紅外線加熱器
- 開口尺寸：客製化
- 作動時間：2秒內
- 本體材質 : 304不銹鋼
- 閥板：6061-T6鋁
- 漏率：< 1*10-9 bar*l/s
- 閥蓋/閘/軸密封：Viton
單腔垂直式閥門
- 開口尺寸：客製化
- 作動時間：2秒內
- 本體材質 : 304不銹鋼
- 閥板：6061-T6鋁
- 漏率：< 1*10-9 bar*l/s
- 閥蓋/閘/軸密封：Viton
雙腔垂直式閥門
- 開口尺寸：客製化
- 作動時間：2秒內
- 本體材質 : 304不銹鋼
- 閥板：6061-T6鋁
- 漏率：< 1*10-9 bar*l/s
- 閥蓋/閘/軸密封：Viton
Carrier基片架
- 取放片機構不需使用彈片夾持。
- 無需製作專用sub carrier
- 多種Carrier尺寸設計，允許27”~44”基板的鍍膜。
- CRS搭配多軸ROBOT，上下片迅速、穩定。
- 吸嘴吸片為非接觸式