真空キーコンポーネント
回転する円筒形の陰極
- 目標長さ：300〜2000mm
- バックチューブ径：外径133mm
- バックチューブの厚さ：4mm
- 目標厚さ：6〜12mm
- 目標利用率：セラミック目標> 70％;金属目標> 80％
- 均一性：±5％
- 目標回転速度：3〜15rpm
- 信頼性動作試験：500万〜1000万回
シングルアーム回転円筒カソード
- 目標長さ：300〜3000mm
- バックチューブ径：外径170mm
- バックチューブの厚さ：9 mm
- 目標厚さ：6〜12mm
- 目標利用率：セラミック目標> 70％;金属目標> 80％
- 均一性：±5％
- 目標回転速度：3〜15rpm
- 信頼性動作試験：500万〜1000万回
DCプレーンカソード
- 定格電力：≤ DC100KW
- 電圧と電流：≤ 1000V/ 225A
- 目標長さ≤ 2000mm
- 漏れ率：< 1 * 10-9 bar * l / s
- 目標利用率：≤ 40％
- 均一性：±3％
MFフラットカソード
- 定格電力：≦ AC80 KHz
- 電圧と電流：≤ 1000V/ 225A
- 目標長さ≤ 2000mm
- 漏れ率：< 1 * 10-9 bar * l / s
- 目標利用率：≤ 30％
- 均一性：±3％
走査型マグネトロンカソード
- 定格電力：≤ DC100KW
- 電圧と電流：≤ 1000V/ 225A
- 目標長さ≤ 2000mm
- 漏れ率：< 1 * 10-8 bar * l / s
- 目標利用率：≤ 40％
- 均一性：±3％
イオン源
- 漏れ率：< 1.2 * 10-9 bar * l / s
- 動作温度：200℃以内
- プロセスガス：Ar、O2、Ar + O2
- 最大動作圧力：〜2 mtorr
- ガス流量：20-200 sccm
- 均一な磁場設計
赤外線ヒーター
抵抗ワイヤーヒーター
抵抗ワイヤーヒーター
- 1200℃までの赤外線加熱温度
- 5℃以内の温度制御精度
抵抗ワイヤーヒーター
抵抗ワイヤーヒーター
抵抗ワイヤーヒーター
- エリア全体で均一な温度を確保するためのマルチディスク独立制御
- 800℃までの赤外線加熱温度
- 即時フィードバックPID制御精度±1.5℃
水平バルブ
抵抗ワイヤーヒーター
- 開口部サイズ：カスタマイズ
- 作動時間：2秒以内
- 本体材質：304ステンレス鋼
- バルブプレート：6061-T6アルミニウム
- 漏れ率：<1 * 10-9 bar * l / s
- ボンネット/ゲート/シャフトシール：Viton
シングルチャンバー垂直バルブ
- 開口部サイズ：カスタマイズ
- 作動時間：2秒以内
- 本体材質：304ステンレス鋼
- バルブプレート：6061-T6アルミニウム
- 漏れ率：<1 * 10-9 bar * l / s
- ボンネット/ゲート/シャフトシール：Viton
ダブルチャンバー垂直バルブ
- 開口部サイズ：カスタマイズ
- 作動時間：2秒以内
- 本体材質：304ステンレス鋼
- バルブプレート：6061-T6アルミニウム
- 漏れ率：<1 * 10-9 bar * l / s
- ボンネット/ゲート/シャフトシール：Viton
キャリア基板ラック
- ピックアンドプレースメカニズムは、破片でクランプする必要はありません。
- 専用のサブキャリアを作る必要はありません
- さまざまなキャリアサイズの設計により、27 "〜44"の基板のコーティングが可能です。
- CRSは多軸ロボットを搭載しており、ロードとアンロードは高速で安定しています。
- ノズルサクションピースは非接触タイプです