太陽電池PECVD、PVD、LPCVD蒸着、スパッタリングプロセス
太陽電池PECVD、PVD、LPCVD蒸着、スパッタリングプロセス
太陽電池PECVD、PVD、LPCVD蒸着、スパッタリングプロセス
- PVSKペロブスカイト高効率バッテリーコーティングプロセス(インラインPVDおよびRPD)
- 単結晶HITPECVD + ITO PVDプロセスおよび装置技術(クラスターPECVDおよびインライン両面コーティング設計)
- 高効率PECVDプロセスおよび機器技術
- 薄膜太陽電池前面電極(i-ZnO / BZO、AZO)プロセスおよび装置技術(LPCVD、PVD大量生産装置を提供できます)
- 薄膜太陽電池背面電極(AZO、AL、Ag、NiCr ...)プロセスおよび機器技術(太陽電池のシングルジャンクションおよびダブルジャンクションプロセスのマッチング選択に依存)
- CIGS薄膜太陽電池PVDプロセスおよび機器技術(Mo、CuGa、In ... PVD大量生産機器を提供できます