濕式製程設備

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1. 設備簡介：

全自動化PANEL FOUP Cleaners 設備，可應用於ABF 載板、PCB 載板或玻璃載板的FOUP 清洗及其他可裝載於專用清洗籃之治具。

本設備真空乾燥技術可達到PANEL FOUP 清洗後達到完全乾燥，依照客戶需求設計與調整。

有效清洗PANEL FOUP 各結構死角，在短時間將PANEL FOUP 內部去水乾燥，提升清洗品質

2.優勢與特點

-全自動化生產，採用機械手自動取放片，並在線監控掌握生產狀況及細節，無須人員操作。

-軟硬體設計規劃及人機圖控系統規劃。            

-FOUP/FOSB為360度旋轉無死角執行清洗、熱風及真空烘乾。                                                

-設備客製化，提供彈性化選擇滿足特定需求。  

-設備建置成本低，FOUP/FOSB清洗成本低。                                   

-SECS/GEM & MES資訊串流與設備規劃符合國際標準 CE及 SEMI 認證。                            

3.機台佔地面積：

8.9m(L) × 8.9m(W) × 3.0m(H) 含維修空間

4. 清洗物件尺寸：

650 x 650 x 900 mm or below

1. 設備簡介：

全自動化FOUP/FOSB Cleaners設備，可應用於晶圓片、載板FOUP/FOSB清洗及其他可裝載於專用清洗籃之治具。

本設備真空乾燥技術可達到FOUP/FOSB清洗後達到完全乾燥，依照客戶需求設計與調整。

有效清洗FOUP/FOSB各結構死角，在較短時間內將FOUP/FOSB內部去水乾燥，提升清洗品質

2.優勢與特點

-全自動化生產，採用機械手自動取放片，並在線監控掌握生產狀況及細節，無須人員操作。

-軟硬體設計規劃及人機圖控系統規劃。            

-FOUP/FOSB為360度旋轉無死角執行清洗、熱風及真空烘乾。                                                

-設備客製化，提供彈性化選擇滿足特定需求。  

-設備建置成本低，FOUP/FOSB清洗成本低。                                   

-SECS/GEM & MES資訊串流與設備規劃符合國際標準 CE及 SEMI 認證。                         

3.機台佔地面積：

6m(L) × 5.3m(W) × 4m(H) 含維修空間

4. 清洗物件尺寸：

370 x 440 x 350 mm or  12” below

1. 設備簡介：

全自動化子母框清洗設備，可應用於ABF載板、PCB載板或玻璃載板的子框/母框清洗及其他可裝載於專用清洗籃之治具。設備可對子母框進行清洗、脫水及乾燥處理，可依照客戶需求進行設計與調整，確保高效去除微粒與污染物。

本設備符合Class 100 等級潔淨室標準，具備自動上下料系統，確保清洗過程中的無塵操作。

2.優勢與特點

-全自動化生產，採用機械手自動取放片，並在線監控掌握生產狀況及細節，無須人員操作。

-軟硬體與人機監控系統可依需求彈性規劃與調整。                                                                

-母框360度旋轉無死角執行清洗、熱風及真空烘乾。                                                           

-提供客製化且低成本設備服務，以滿足客戶的特定需求。                                                     

-SECS/GEM & MES資訊串流與設備規劃符合國際標準 CE及 SEMI 認證。                         

3.機台佔地面積：

9m(L) × 7.6m(W) × 3.1m(H) 含維修空間

4. 清洗物件尺寸：

母框: 630 x 610 x 585 mm or below

子框: 597 x 568 x 7.5 mm or below