濕式製程設備
FOUP CLEANER（PANEL）
1.機台佔地面積：
8.9m(L) × 8.9m(W) × 3.0m(H) 含維修空間
2. 清洗物件尺寸：
650 x 650 x 900 mm or below
FOUP CLEANER（MP）
1.機台佔地面積：
6m(L) × 5.3m(W) × 4m(H) 含維修空間
2. 清洗物件尺寸：
370 x 440 x 350 mm or 12” below
子母框清洗設備
子母框清洗設備
1.機台佔地面積：
9m(L) × 7.6m(W) × 3.1m(H) 含維修空間
2. 清洗物件尺寸：
母框: 630 x 610 x 585 mm or below
子框: 597 x 568 x 7.5 mm or below